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syujolu

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[求助] 磁控溅射，射频电源，带有铜背板的二氧化钛不起辉

磁控溅射，射频电源，带有铜背板的二氧化钛不起辉，是怎么回事啊？？麻烦大佬解答一下工作压强1.0pa 气体流量35sccm

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1楼 2023-01-06 15:02:18

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