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syujolu

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[求助] 磁控溅射,射频电源,带有铜背板的二氧化钛不起辉

磁控溅射,射频电源,带有铜背板的二氧化钛不起辉,是怎么回事啊??麻烦大佬解答一下  工作压强1.0pa  气体流量35sccm

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