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【请教】请教如何更好地制备Si衬底的TEM样品
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请教高手,我想对Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备的薄膜样品进行TEM测量,可几次磨样品都不成功,主要是离子减薄的过程中没有减出孔,或者减出孔却看不到我想看的薄膜花样,请教有减薄经验的高手,如何减能更好的得到TEM样品,谢谢 |
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