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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】请教如何更好地制备Si衬底的TEM样品
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W.T.Song

[交流] 【请教】请教如何更好地制备Si衬底的TEM样品

请教高手,我想对Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备的薄膜样品进行TEM测量,可几次磨样品都不成功,主要是离子减薄的过程中没有减出孔,或者减出孔却看不到我想看的薄膜花样,请教有减薄经验的高手,如何减能更好的得到TEM样品,谢谢
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1楼 2009-09-15 15:14:36
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bryano

木虫 (正式写手)
我看lz就是高手。
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2楼2009-09-15 15:19:43
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W.T.Song

高手就不能这么郁闷了,呵呵
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3楼2009-09-15 15:23:12
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leking137joey

金虫 (正式写手)

材料小生
你想看什么？你的衬底和镀层各有多厚？要知道TEM的样品薄区时很小的一个范围，有时候就是几个晶粒~~
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材料热力学;材料微观表征;TEM;
4楼2009-09-17 18:41:34
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maojiecheng

银虫 (小有名气)
★
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直接拿去做SEM最方便，形貌也看了，还不用破坏结构
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5楼2009-09-21 22:30:11
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silveruranus

铁虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by maojiecheng at 2009-9-21 22:30:
直接拿去做SEM最方便，形貌也看了，还不用破坏结构

我想SEM恐怕不行，一是分辨率不行，二是看不得晶格的点阵结构
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6楼2009-09-21 23:51:19
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maojiecheng

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
有道理，可以用AFM，这样效果会更好，AFM加SEM
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7楼2009-09-22 19:16:43
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hand1980

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
怎么会减不出孔呢，继续减啊，你凹坑凹到多厚上的减薄，尽量凹的薄一些再减薄，是截面样还是平面样
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8楼2009-09-23 08:26:43
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W.T.Song

引用回帖:
Originally posted by hand1980 at 2009-9-23 08:26:
怎么会减不出孔呢，继续减啊，你凹坑凹到多厚上的减薄，尽量凹的薄一些再减薄，是截面样还是平面样

高手，是平面样，主要是想看它的晶化程度，我确实应该先挖坑，不过是硅片，我怕碎，所以一直干磨到40微米，再减的，主要是想请教减薄的过程中是不是有什么说道，怎么设置能减的更好。
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9楼2009-10-05 08:33:04
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ggg085

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
硅片没问题，挖坑操作好不会碎的，注意减薄时角度不可太大。
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10楼2009-10-05 11:05:30
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