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Bluebery1新虫 (小有名气)
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空间光调制器SLM做图案化加工的最小结构大小与激光光源的关系
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| 看许多文章里用空间光调制器加载相位图做图案化加工，用的都是飞秒激光，得到的结构最小线宽基本都在几百纳米左右。想请教一下，如果采用连续激光的话能加工出那么小的结构吗？会不会是飞秒激光产生的是双光子吸收热效应低导致的其结果要比用连续激光加工的结果要好呢？希望得到指点。@dut_ameng@wulishi8 |
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Bluebery12楼2022-10-11 18:04:01
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