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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 空间光调制器SLM做图案化加工的最小结构大小与激光光源的关系
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Bluebery1

新虫 (小有名气)

[求助] 空间光调制器SLM做图案化加工的最小结构大小与激光光源的关系

看许多文章里用空间光调制器加载相位图做图案化加工，用的都是飞秒激光，得到的结构最小线宽基本都在几百纳米左右。想请教一下，如果采用连续激光的话能加工出那么小的结构吗？会不会是飞秒激光产生的是双光子吸收热效应低导致的其结果要比用连续激光加工的结果要好呢？希望得到指点。@dut_ameng@wulishi8
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1楼 2022-10-11 15:40:55
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babyoflion

金虫 (著名写手)
飞秒同等条件肯定好得多

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Bluebery1
2楼2022-10-11 18:04:01
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Bluebery1

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-10-11 18:04:01
飞秒同等条件肯定好得多

谢谢回复！还想继续追问一下连续光的话有没有可能通过SLM曝光光刻胶加工出最小线宽500nm左右的图案结构呢？比如负胶SU8或者正胶S1813等
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3楼2022-10-11 19:24:41
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hgxt3368

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2022-10-11 19:37:45
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Bluebery1

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by hgxt3368 at 2022-10-11 19:37:45
我这边可以300nm  ，私聊你了
...

嗯嗯，好的，已经回复了
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5楼2022-10-12 10:08:05
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Bluebery1 at 2022-10-11 19:24:41
谢谢回复！还想继续追问一下连续光的话有没有可能通过SLM曝光光刻胶加工出最小线宽500nm左右的图案结构呢？比如负胶SU8或者正胶S1813等...

不用自己折腾呀，能够加工这个线宽的很多

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6楼2022-10-12 19:45:19
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