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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 磁控溅射过程中靶材开裂且发黑
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yupeng199

新虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射过程中靶材开裂且发黑 已有2人参与

我的靶材开裂了，在溅射的过程中，辉光颜色变浅，取出后薄膜发黑，同时靶材的裂缝处出现黑灰，哪位大神有可以帮助我重新绑定靶材和解决表面黑灰的方法@comma@wacky1980
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1楼 2022-09-22 17:51:35
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我们生产中，这种情况俗称靶中毒。一般原因是由于基体放气量大导致（也就是说基体中可挥发物质较多），一般对基体进行前处理降低放气量就行了。，很常见的一种故障。
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yupeng199
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
4楼2022-09-23 15:11:03
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Angel01

新虫 (著名写手)
你什么靶材

发自小木虫Android客户端
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2楼2022-09-22 21:21:32
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yupeng199

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Angel01 at 2022-09-22 21:21:32
你什么靶材

F、Al、Ga共掺杂ZnO

发自小木虫Android客户端
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3楼2022-09-22 21:24:30
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yupeng199

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by hs_77 at 2022-09-23 15:11:03
我们生产中，这种情况俗称靶中毒。一般原因是由于基体放气量大导致（也就是说基体中可挥发物质较多），一般对基体进行前处理降低放气量就行了。，很常见的一种故障。

请问如何进行前处理降低放气量，谢谢您

发自小木虫Android客户端
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5楼2022-09-23 16:01:10
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