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yupeng199

新虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射过程中靶材开裂且发黑 已有2人参与

我的靶材开裂了,在溅射的过程中,辉光颜色变浅,取出后薄膜发黑,同时靶材的裂缝处出现黑灰,哪位大神有可以帮助我重新绑定靶材和解决表面黑灰的方法@comma@wacky1980
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Angel01

新虫 (著名写手)

2楼2022-09-22 21:21:32
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yupeng199

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Angel01 at 2022-09-22 21:21:32
你什么靶材

F、Al、Ga共掺杂ZnO

发自小木虫Android客户端
3楼2022-09-22 21:24:30
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我们生产中,这种情况俗称靶中毒。一般原因是由于基体放气量大导致(也就是说基体中可挥发物质较多),一般对基体进行前处理降低放气量就行了。,很常见的一种故障。

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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
4楼2022-09-23 15:11:03
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yupeng199

新虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by hs_77 at 2022-09-23 15:11:03
我们生产中,这种情况俗称靶中毒。一般原因是由于基体放气量大导致(也就是说基体中可挥发物质较多),一般对基体进行前处理降低放气量就行了。,很常见的一种故障。

请问如何进行前处理降低放气量,谢谢您

发自小木虫Android客户端
5楼2022-09-23 16:01:10
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hong880214

新虫 (著名写手)


可以 ,重新绑定的, 但不能裂太多,
6楼2022-09-25 20:24:53
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小米0锅巴

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这个靶材是你第一次使用吗?
7楼2022-10-11 15:41:09
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