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有没有做过100u厚度 PDMS 微流道键合工艺的 有偿咨询~~ 已有1人参与
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| 现在问题是这样的，光刻su8流道后，浇筑pdms。剥离pdms的时候，pdms薄膜打卷了，没办法平铺在待键合的基板上。请问各位有什么好的办法吗？ |
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木虫之王 (文坛精英)
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