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| 【悬赏金币】回答本帖问题,作者天才小傲傲将赠送您 10 个金币 | ||
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有没有做过100u厚度 PDMS 微流道键合工艺的 有偿咨询~~ 已有1人参与
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| 现在问题是这样的,光刻su8流道后,浇筑pdms。剥离pdms的时候,pdms薄膜打卷了,没办法平铺在待键合的基板上。请问各位有什么好的办法吗? |
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2楼2022-09-05 21:30:56
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木虫之王 (文坛精英)
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3楼2022-09-06 09:14:35










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