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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有没有做过100u厚度 PDMS 微流道键合工艺的 有偿咨询~~
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天才小傲傲

新虫 (初入文坛)

[求助] 有没有做过100u厚度 PDMS 微流道键合工艺的 有偿咨询~~ 已有1人参与

现在问题是这样的，光刻su8流道后，浇筑pdms。剥离pdms的时候，pdms薄膜打卷了，没办法平铺在待键合的基板上。请问各位有什么好的办法吗？
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1楼 2022-09-05 21:15:40
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winona


发自小木虫IOS客户端
2楼2022-09-05 21:30:56
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
比较薄，是很容易打卷，可以在水中操作。如果不行，可以滴一些水或酒精防止打卷
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3楼2022-09-06 09:14:35
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