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天才小傲傲

新虫 (初入文坛)

[求助] 有没有做过100u厚度 PDMS 微流道键合工艺的 有偿咨询~~已有1人参与

现在问题是这样的,光刻su8流道后,浇筑pdms。剥离pdms的时候,pdms薄膜打卷了,没办法平铺在待键合的基板上。请问各位有什么好的办法吗?
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2楼2022-09-05 21:30:56
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
比较薄,是很容易打卷,可以在水中操作。如果不行,可以滴一些水或酒精防止打卷
3楼2022-09-06 09:14:35
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