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bitxrj

铁虫 (初入文坛)

[求助] H2等离子体会与GaAs表面反应么 已有1人参与

GaAs衬底的器件,镀膜过程由H2启辉参与,H2的等离子体会和镓砷反应么?昨天看文章有说会反应生产AsH3的
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

热力学计算,不会反应的
2楼2022-09-05 14:51:38
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