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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » H2等离子体会与GaAs表面反应么
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bitxrj

铁虫 (初入文坛)

[求助] H2等离子体会与GaAs表面反应么 已有1人参与

GaAs衬底的器件，镀膜过程由H2启辉参与，H2的等离子体会和镓砷反应么？昨天看文章有说会反应生产AsH3的
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1楼 2022-08-31 09:13:46
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

热力学计算，不会反应的
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2楼2022-09-05 14:51:38
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