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H2等离子体会与GaAs表面反应么 已有1人参与
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| GaAs衬底的器件，镀膜过程由H2启辉参与，H2的等离子体会和镓砷反应么？昨天看文章有说会反应生产AsH3的 |
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kangye_1989
木虫 (著名写手)
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2楼2022-09-05 14:51:38