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【求助】射频源自偏压问题
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实验室的磁控溅射设备，有一个自偏压，还有一个Ua,Ia，不知道其中有什么联系和区别？以及为什么要有入射功率和反射功率这个设置呢？特意请教各位虫友，望高人指教一二啊! ps：有射频电源的原理介绍么？能给我共享一份吗？ |
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3楼2009-09-12 20:47:05
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moxming(金币+2,VIP+0): 9-13 09:44
moxming(金币+2,VIP+0): 9-13 09:44
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我们老板的课件，材料的溅射与薄膜生长，嘻嘻 http://d.namipan.com/d/99448b90b ... 93b122d43d789101900 |
4楼2009-09-12 20:50:57