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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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moxming

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】射频源自偏压问题

实验室的磁控溅射设备,有一个自偏压,还有一个Ua,Ia,不知道其中有什么联系和区别?以及为什么要有入射功率和反射功率这个设置呢?特意请教各位虫友,望高人指教一二啊!
ps:有射频电源的原理介绍么?能给我共享一份吗?
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★
moxming(金币+1,VIP+0): 9-13 09:44
骑着蜗牛追火箭(金币+1):谢谢应助
我也做这个的,反射功率尽量要小,实际功率=入射功率-反射功率=Ua*Ia*效率
2楼2009-09-12 20:43:57
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ben1986

铜虫 (小有名气)

★ ★ ★
moxming(金币+2,VIP+0): 9-13 09:44
骑着蜗牛追火箭(金币+1):谢谢应助
这个你得查一下资料
我只知道Ua是板压,Ia是板流,板压*板流=总功率,总功率=入射功率+反射功率
射频溅射是需要调节匹配器使电源与溅射环境匹配,即入射功率为最大,反射功率为零。
自偏压的感念只是马马虎虎懂一点讲不清,给你传个资料。
3楼2009-09-12 20:47:05
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ben1986

铜虫 (小有名气)

★ ★
moxming(金币+2,VIP+0): 9-13 09:44
我们老板的课件,材料的溅射与薄膜生长,嘻嘻
http://d.namipan.com/d/99448b90b ... 93b122d43d789101900
4楼2009-09-12 20:50:57
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moxming

金虫 (小有名气)

谢谢各位哈,得好好学习了~~
5楼2009-09-13 09:45:22
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whome3923

木虫 (正式写手)

学习了
不会游泳的鱼
6楼2009-09-13 21:04:32
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