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basanwuyu

银虫 (小有名气)

[交流] [求助]西门子法多晶硅位错情况

西门子法多晶硅位错密度应该不是很大吧?因为在化学气相沉积过程中,没有什么热应力产生,这相比铸造多晶硅位错应该会少很多??

请虫友们赐教!
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