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你见过风吗

新虫 (初入文坛)

[求助] 求问XPS和EDS检测不一样 已有2人参与

EDS中检测到含有5%的B元素,而XPS中却没有检测到B。样品是粗糙度9um的膜层。
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金材鑫科技

新虫 (著名写手)

如果膜不均匀,可以测xps的时候刻蚀掉10-50nm看一下中间的位置。xps是微区检测,跟样品的状态关联很大

发自小木虫Android客户端
8楼2022-08-28 08:57:35
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查看全部 8 个回答

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
B用EDS做不太靠谱,上谱线图看看,个人倾向没有,可以用TEM-EELS确定
2楼2022-08-07 23:01:29
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封神之神

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
eds测B不准,用epma测下看看

发自小木虫Android客户端
3楼2022-08-08 00:23:15
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你见过风吗

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2022-08-07 23:01:29
B用EDS做不太靠谱,上谱线图看看,个人倾向没有,可以用TEM-EELS确定

EDS是做了几个都是差不多的B含量,我问做XPS的老师,他说可能是因为EDS是微米级,而XPS是纳米级,我那个膜层是有点粗糙的
4楼2022-08-08 20:44:39
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