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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 求问XPS和EDS检测不一样
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你见过风吗

新虫 (初入文坛)

[求助] 求问XPS和EDS检测不一样 已有2人参与

EDS中检测到含有5%的B元素，而XPS中却没有检测到B。样品是粗糙度9um的膜层。
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1楼 2022-08-07 19:25:15
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
B用EDS做不太靠谱，上谱线图看看，个人倾向没有，可以用TEM-EELS确定
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2楼2022-08-07 23:01:29
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封神之神

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
eds测B不准，用epma测下看看

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3楼2022-08-08 00:23:15
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你见过风吗

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2022-08-07 23:01:29
B用EDS做不太靠谱，上谱线图看看，个人倾向没有，可以用TEM-EELS确定

EDS是做了几个都是差不多的B含量，我问做XPS的老师，他说可能是因为EDS是微米级，而XPS是纳米级，我那个膜层是有点粗糙的
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4楼2022-08-08 20:44:39
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你见过风吗

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 封神之神 at 2022-08-08 00:23:15
eds测B不准，用epma测下看看

EDS是做了几个都是差不多的B含量，我问做XPS的老师，他说可能是因为EDS是微米级，而XPS是纳米级，我那个膜层是有几微米的粗糙的
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5楼2022-08-08 20:47:49
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 你见过风吗 at 2022-08-08 20:44:39
EDS是做了几个都是差不多的B含量，我问做XPS的老师，他说可能是因为EDS是微米级，而XPS是纳米级，我那个膜层是有点粗糙的...

跟你做几次没关系，EDS做B本来就不靠谱，软件硬算出来的很可能只是其他元素的背景峰，测试方法本身决定的。你说的这个探测深度的问题是有可能但是我个人经验不偏向是这个原因，所以你要用其他方法再测佐证才行。个人建议你不要管eds这个结果也别再测了，不可信
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6楼2022-08-08 22:01:05
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你见过风吗

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by gxytju2008 at 2022-08-08 22:01:05
跟你做几次没关系，EDS做B本来就不靠谱，软件硬算出来的很可能只是其他元素的背景峰，测试方法本身决定的。你说的这个探测深度的问题是有可能但是我个人经验不偏向是这个原因，所以你要用其他方法再测佐证才行。个 ...

好的，非常感谢
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7楼2022-08-08 23:07:59
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金材鑫科技

新虫 (著名写手)
如果膜不均匀，可以测xps的时候刻蚀掉10-50nm看一下中间的位置。xps是微区检测，跟样品的状态关联很大

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8楼2022-08-28 08:57:35
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