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vincent9277

铁虫 (小有名气)

[交流] XRD能探测多少厚度的薄膜

请问一下,我的薄膜是生长在导电玻璃上的,估计数百纳米厚,不知道XRD能不能探测到这么小厚度的薄膜的物相呢?
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xzq0327

金虫 (小有名气)

薄膜用掠入射测吧好像
4楼2009-10-09 23:31:08
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★
paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 9-12 22:38
vincent9277(金币+5,VIP+0): 9-13 10:28
数百纳米不薄了,30nm的都测过
2楼2009-09-12 09:16:56
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jlsdwlxsc

铁杆木虫 (职业作家)

XRD可以测,几百纳米用扫描电镜看断面也能测出膜厚,两者可以结合使用,相互验证一下。
3楼2009-09-20 08:37:48
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