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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » Cmp后xrd峰形变差
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无敌小番茄

新虫 (小有名气)

[求助] Cmp后xrd峰形变差

半导体晶片化学机械抛光后XRD半高宽数值变小，但峰形不平滑了，还出现了杂峰是什么原因？

@jackdeng @lich666 发自小木虫IOS客户端
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1楼2022-07-05 16:15:54
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