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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 化学气相沉积法制备碳纳米管
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1181282205

铁虫 (初入文坛)

[交流] 化学气相沉积法制备碳纳米管

各位大佬我第一次做CVD想在碳纤表面沉积碳纳米管，想让各位帮忙看一下这个流程可不可行，大家有好的文献能分享一下吗？
1.在氩气气氛下450℃一小时除去上浆剂。
2.氩气气氛，流量为0.3L/min,升温至450℃关闭氩气，开启氢气，氢气流量为0.15L/min保温1.5h还原。
3.关闭氢气通入氩气吹扫去除炉腔内氢气，之后在氩气气氛下升温至650℃通入混合气，
氩气：氢气：甲烷=0.3：0.15：0.02L/min,保持5min生长碳纳米管，关闭氢气与甲烷，保持氩气降至室温。

氢气气氛拟采用氢氩比为5：95的混合气体，如果是纯氢气的话采用和氢氩混气一样的流量可以吗？
希望有大佬可以指点指点，第一次用CVD，有可燃气体比较害怕爆炸，需要注意些什么呢？按照我的设计流程的话容易发生意外吗？ 甲烷能有什么更好的替代吗？
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1楼 2022-06-29 19:28:31
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1181282205

铁虫 (初入文坛)
自己顶一下，有大佬能够指点指点的吗，求教
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4楼2022-06-29 19:53:38
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chenhuanlong

禁虫 (文学泰斗)
★
1181282205(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
3楼2022-06-29 19:52:27
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l419110028

至尊木虫 (文坛精英)
★
1181282205(金币+1): 谢谢参与
直接管式炉高温烧一下就可以得到碳纳米管呀

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7楼2022-06-30 11:19:57
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1181282205

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by l419110028 at 2022-06-30 11:19:57
直接管式炉高温烧一下就可以得到碳纳米管呀

您好前辈，确实是用管式炉烧，但我之前没做过这个气流气氛那些不太清楚，如果前辈知道的话能烦请指导一下吗？谢谢您
赞一下 回复此楼
8楼2022-06-30 15:07:20
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tzynew2楼
2022-06-29 19:34   回复  
1181282205(金币+1): 谢谢参与
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