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[交流]
化学气相沉积法制备碳纳米管
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各位大佬我第一次做CVD想在碳纤表面沉积碳纳米管，想让各位帮忙看一下这个流程可不可行，大家有好的文献能分享一下吗？ 1.在氩气气氛下450℃一小时除去上浆剂。 2.氩气气氛，流量为0.3L/min,升温至450℃关闭氩气，开启氢气，氢气流量为0.15L/min保温1.5h还原。 3.关闭氢气通入氩气吹扫去除炉腔内氢气，之后在氩气气氛下升温至650℃通入混合气， 氩气：氢气：甲烷=0.3：0.15：0.02L/min,保持5min生长碳纳米管，关闭氢气与甲烷，保持氩气降至室温。 氢气气氛拟采用氢氩比为5：95的混合气体，如果是纯氢气的话采用和氢氩混气一样的流量可以吗？ 希望有大佬可以指点指点，第一次用CVD，有可燃气体比较害怕爆炸，需要注意些什么呢？按照我的设计流程的话容易发生意外吗？ 甲烷能有什么更好的替代吗？ |
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chenhuanlong
禁虫 (文学泰斗)
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tzynew2楼
2022-06-29 19:34
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