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zhuzhen

木虫 (正式写手)

[交流] 单晶和外延

我是做薄膜的。外延膜一定是单晶么?看到有些文献的epitaxy,包括了一些孪晶和畴,例如立方(111)生长在六方(0001)上,由于有两个取向会出现两个畴。那在晶体中,有畴的算单晶么?另外问下,如果是单晶薄膜,SEM测形貌时是不是看不到颗粒?
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伽南香8316


zhuzhen(金币+1,VIP+0):外延一般都用单晶衬底啊 9-10 11:20
单晶薄膜是看不到颗粒。
外延膜不一定都是单晶,看衬底。
2楼2009-09-10 10:52:05
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zhuzhen

木虫 (正式写手)


paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 9-11 17:13
哪位大虫帮忙回答下呗,困扰中
3楼2009-09-11 10:15:28
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jerry521

铜虫 (正式写手)

★ ★ ★
zhuzhen(金币+2,VIP+0):谢谢,但薄膜物理与技术这本书上说:外延生长技术就是在单晶片上沿结晶轴方向生长一层所需的薄单晶。咋回事? 10-2 19:38
paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 10-4 21:56
外延膜可以是单晶,也可以多晶,甚至非晶(要长单晶材料长坏了就成非晶了,俗称长毛了)。
成长为什么结构视衬底材料和生长条件等因素而定了,如果说外延的都是单晶,那长单晶谁都会了,我要失业了。
单不单晶,SEM是测不出来的。对于纯的单晶薄膜,世界上是没有的,所以看一块材料的SEM,只是看它的表面形貌,有颗粒要视具体情况而分析,原子簇,聚团,金属滴都有可能,有时还是沾污呢。
4楼2009-10-02 10:38:20
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wxh_swust

金虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
zhuzhen(金币+3,VIP+0):同意 10-3 23:05
paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 10-4 21:57
只要理解好了epitaxy的基本概念就ok了。
它由两个拉丁词组成,epi是upon的意思,taxy是order的意思,因而在基片与薄膜的之间晶格如果存在取向关系,就为外延。(111)立方面与(0001)六方面在二维对称性是一致的,容易形成外延膜。如果膜形成多畴,也可能与基片与薄膜之间的匹配有关。
当然单晶显然是在固体物理上一个严格的概念了。如果薄膜为单畴,且取向非常完美,可以近视认为单晶。
5楼2009-10-03 21:50:47
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