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磁控溅射镀膜
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柳如是君
新虫
(初入文坛)
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(幼儿园)
金币: 30.4
帖子: 7
在线: 48分钟
虫号: 15634160
注册: 2019-07-16
专业: 材料物理化学
[交流]
磁控溅射镀膜
已有3人参与
非平衡磁控溅射镀膜为什么镀不了厚膜(>1.5μm)?我镀膜镀到后面直接起屑了。我的条件是1.5Pa工作气压,室温下沉积纯金属膜。
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1楼
2022-05-28 10:22:41
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sciencetechn
新虫
(小有名气)
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帖子: 114
在线: 17.8小时
虫号: 4044840
注册: 2015-08-31
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
基片平整度怎么样?薄膜是否均匀
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸空镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
3楼
2022-06-30 14:51:54
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bobo201266
金虫
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散金: 100
红花: 3
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在线: 20.9小时
虫号: 15108252
注册: 2019-05-16
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
表面处理干净,厚膜要考虑应力的问题
发自小木虫Android客户端
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2楼
2022-06-21 08:30:30
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xyr0125
新虫
(小有名气)
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帖子: 207
在线: 4.6小时
虫号: 27284571
注册: 2021-09-14
专业: 多相流热物理学
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
友友,您好,请问您这里可以用磁控溅射镀膜吗
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4楼
2022-11-22 10:20:00
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