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磁控溅射镀膜 已有3人参与
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| 非平衡磁控溅射镀膜为什么镀不了厚膜（>1.5μm）？我镀膜镀到后面直接起屑了。我的条件是1.5Pa工作气压，室温下沉积纯金属膜。 |
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