| 查看: 1310 | 回复: 3 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者Bluebery1将赠送您 50 个金币 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
Bluebery1新虫 (小有名气)
|
[求助]
ICP刻蚀Cr做掩膜的Ge，本该出现柱形结构结果却出现了凹坑
|
|
| 沉底Ge上镀又25nm左右的Cr掩膜，ICP刻蚀的结果预期是生成柱子，结果却生成了一个个200nm左右的凹坑。我知道刻蚀的大概原理，但是想不明白本该是柱子的东西怎么会变成凹坑，有没有可能是刻蚀条件的问题导致的呢？ |
回复此楼» 猜你喜欢
河北大学-26年秋季入学化学博士招生
已经有0人回复
-
招收2026年入学博士研究生
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有265人回复
-
0856材料306分调剂
已经有2人回复
-
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有16人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有7人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有7人回复
亲爱的笨小孩
银虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 322.7
- 散金: 36
- 帖子: 28
- 在线: 19.6小时
- 虫号: 2335244
- 注册: 2013-03-10
- 性别: GG
- 专业: 光学
4楼2022-07-29 17:03:52
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4771.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2506
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
Bluebery12楼2022-05-14 12:58:29
Bluebery1
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 146.1
- 散金: 28
- 帖子: 253
- 在线: 81.4小时
- 虫号: 25412636
- 注册: 2021-02-27
- 性别: GG
- 专业: 光学
3楼2022-05-29 15:23:11
