| 查看: 1482 | 回复: 3 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者Bluebery1将赠送您 50 个金币 | ||
Bluebery1新虫 (小有名气)
|
[求助]
ICP刻蚀Cr做掩膜的Ge，本该出现柱形结构结果却出现了凹坑
|
|
| 沉底Ge上镀又25nm左右的Cr掩膜，ICP刻蚀的结果预期是生成柱子，结果却生成了一个个200nm左右的凹坑。我知道刻蚀的大概原理，但是想不明白本该是柱子的东西怎么会变成凹坑，有没有可能是刻蚀条件的问题导致的呢？ |
回复此楼» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有140人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2508
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
Bluebery12楼2022-05-14 12:58:29
Bluebery1
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 146.1
- 散金: 28
- 帖子: 253
- 在线: 81.4小时
- 虫号: 25412636
- 注册: 2021-02-27
- 性别: GG
- 专业: 光学
3楼2022-05-29 15:23:11
亲爱的笨小孩
银虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 322.7
- 散金: 36
- 帖子: 28
- 在线: 19.6小时
- 虫号: 2335244
- 注册: 2013-03-10
- 性别: GG
- 专业: 光学
4楼2022-07-29 17:03:52
50