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Bluebery1新虫 (小有名气)
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ICP刻蚀Cr做掩膜的Ge，本该出现柱形结构结果却出现了凹坑
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| 沉底Ge上镀又25nm左右的Cr掩膜，ICP刻蚀的结果预期是生成柱子，结果却生成了一个个200nm左右的凹坑。我知道刻蚀的大概原理，但是想不明白本该是柱子的东西怎么会变成凹坑，有没有可能是刻蚀条件的问题导致的呢？ |
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