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hdnabc木虫 (著名写手)
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[交流]
厚度为20nm以下的薄膜
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请问大虾们，我要做厚度小于20nm的陶瓷薄膜，我应该用什么技术呀？ 听说有种：在物质表面通过控制晶体生长而控制膜厚的技术，这叫什么技术呀？ 谢谢 [ Last edited by hdnabc on 2009-9-4 at 13:08 ] |
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paopaomeng(金币+1,VIP+0): 9-8 02:17
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| 我曾用sol-gel spin-coating工艺制备出33nm厚的ZnO薄膜，控制溶液浓度可以做得很薄，这里溶液性质非常关键。可以参考该文献：Epitaxy of Vertical ZnO Nanorod Arrays on Highly (001)-Oriented ZnO Seed Monolayer by a Hydrothermal Route，Weibing Wu, Guangda Hu*, Shougang Cui, Ying Zhou and Haitao Wu，Cryst. Growth Des., 2008, 8 (11), pp 4014–4020。http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1 ... p;searchHistoryKey= |
3楼2009-09-04 22:38:44
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