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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zwq955

木虫 (著名写手)

[交流] sub-45nm铜互连中45nm指的是哪一部分的厚度？

如题，sub-45nm铜互连中45nm指的是哪一部分的厚度？
还有就是那位老师知道线宽指的是那部分？
谢谢！！
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好好休息，天天向上！
1楼 2009-09-04 10:29:03
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zwq955

木虫 (著名写手)
自己先顶下
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好好休息，天天向上！
2楼2009-09-05 11:11:26
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bote

it seems to mean the line width of the Cu but not the thickness.

It is difficult to reach this tiny width using a lab photolithography system. A special photolithography machine is required which employs ArF or FKr laser as the light source

[ Last edited by bote on 2009-9-5 at 14:15 ]
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3楼2009-09-05 12:52:18
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