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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » XRD无法检测出薄膜物相
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科研的汪

新虫 (初入文坛)

[求助] XRD无法检测出薄膜物相 已有1人参与

轴承钢衬底上PVD制备的AlN薄膜，在做XRD时检测出全是衬底的峰，问了相关老师说是薄膜太薄打透了，想问下各位大佬是如何解决此类问题的。

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1楼 2022-03-08 16:21:51
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何处繁华

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你的膜有多薄？有50nm吗？太薄的话的确不容易出来，用掠入射试试看
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2楼2022-03-08 20:38:31
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