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科研的汪

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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在线: 6分钟
虫号: 24233240
注册: 2020-10-20
专业: 机械摩擦学与表面技术

[求助] XRD无法检测出薄膜物相已有1人参与

轴承钢衬底上PVD制备的AlN薄膜，在做XRD时检测出全是衬底的峰，问了相关老师说是薄膜太薄打透了，想问下各位大佬是如何解决此类问题的。

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1楼 2022-03-08 16:21:51

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

何处繁华

银虫 (小有名气)

应助: 18 (小学生)
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注册: 2019-02-28
专业: 无机非金属基复合材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

你的膜有多薄？有50nm吗？太薄的话的确不容易出来，用掠入射试试看

2楼2022-03-08 20:38:31

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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