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XRD无法检测出薄膜物相 已有1人参与
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轴承钢衬底上PVD制备的AlN薄膜，在做XRD时检测出全是衬底的峰，问了相关老师说是薄膜太薄打透了，想问下各位大佬是如何解决此类问题的。 发自小木虫IOS客户端 |
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