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yetiannan

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】基片上的无机膜厚度测量

最近用旋转涂膜的方法在基片上涂覆了一层无机膜,现在想测量基片上无机膜的厚度,谁能指导一下,用什么方法测量,哪些方法比较简便,谢谢!!!
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无欲则刚
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yangfanemily

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
最直接的办法就是台阶仪!不过会存在腐蚀的问题
9楼2009-09-21 15:53:43
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 9-2 21:58
台阶仪。。。

如果你的膜比较厚,有其他简单的方法。但是要精确数据的话,还是用台阶仪把
2楼2009-09-02 16:21:02
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solgeltech

银虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 9-2 21:58
用椭偏光谱可以测膜厚。
镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn www.yuanteksolgel.com
3楼2009-09-02 20:47:37
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renk123

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
若是导电材料还可以用SEM看截面,从而得到厚度
4楼2009-09-18 15:38:26
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