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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】基片上的无机膜厚度测量
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yetiannan

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】基片上的无机膜厚度测量

最近用旋转涂膜的方法在基片上涂覆了一层无机膜，现在想测量基片上无机膜的厚度，谁能指导一下，用什么方法测量，哪些方法比较简便，谢谢！！！
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无欲则刚
1楼 2009-09-02 15:56:29
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 9-2 21:58
台阶仪。。。

如果你的膜比较厚，有其他简单的方法。但是要精确数据的话，还是用台阶仪把
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2楼2009-09-02 16:21:02
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solgeltech

银虫 (小有名气)
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 9-2 21:58
用椭偏光谱可以测膜厚。
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镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ
3楼2009-09-02 20:47:37
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renk123

金虫 (小有名气)
★
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若是导电材料还可以用SEM看截面，从而得到厚度
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4楼2009-09-18 15:38:26
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天欲蓝

银虫 (正式写手)
电镜吧。。
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5楼2009-09-18 20:24:55
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tomasyang

金虫 (小有名气)
我最近也在寻找测量膜后的方法！还没找到！
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6楼2009-09-19 21:26:44
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kmwang

新虫 (小有名气)
★
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方法很多，如果不怕花钱，做个TEM。或者用酸腐蚀掉一部分薄膜，形成台阶，用台阶仪测，还是挺准的。
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7楼2009-09-20 10:25:13
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yetiannan

木虫 (正式写手)
用TEM怎么测膜厚度？首先制样就好像不太容易吧
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无欲则刚
8楼2009-09-21 15:03:04
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yangfanemily

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
最直接的办法就是台阶仪！不过会存在腐蚀的问题
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9楼2009-09-21 15:53:43
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