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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】怎么测试金属薄膜电阻率-μΩ级别的
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yupo54

新虫 (小有名气)

[交流] 【请教】怎么测试金属薄膜电阻率-μΩ级别的

我在玻璃基底上面溅射沉积了Mo薄膜，想测试其电阻率，有什么方法。师兄说四探针法可信度不高，怎么办？
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1楼 2009-09-02 14:12:32
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futurelife

银虫 (小有名气)
★
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同问同问！是不是要用Hall效应来测量？
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2楼2009-09-02 15:55:11
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wolfliu

木虫 (著名写手)

自信，诚信，求实，方法。
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
Hall效应应该是可以测量的

不过，四探针法也可以作为参考哟
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不以求备取人，不以己长格物。
3楼2009-09-02 16:53:02
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ymmiskobe

铜虫 (小有名气)
★
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现在基本上就是两探针法，四探针法还有范德堡法啊~~
这三种方法都会因为通电流时产生Peltier effect而不准，不过这是没办法的了....
four-probe适用于形状规则的试样，大部分都用这个方法，很简单~不过您师兄说不好就只能用van der Pauw法了，这其实就是 resistivity and Hall measurement的一个结合，要是你实验室有这个仪器就测啊，要是测不了Hall那就用四针法啊~~
再说您做出的薄膜的好坏才能决定电导率的好坏~您师兄也是....唉~呵呵^^个人意见
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4楼2009-09-02 22:14:31
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