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yupo54

新虫 (小有名气)

[交流] 【请教】怎么测试金属薄膜电阻率-μΩ级别的

我在玻璃基底上面溅射沉积了Mo薄膜,想测试其电阻率,有什么方法。师兄说四探针法可信度不高,怎么办?
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薄膜电阻率测试仪

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futurelife

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
同问同问!是不是要用Hall效应来测量?
2楼2009-09-02 15:55:11
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wolfliu

木虫 (著名写手)

自信,诚信,求实,方法。


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
Hall效应应该是可以测量的

不过,四探针法也可以作为参考哟
不以求备取人,不以己长格物。
3楼2009-09-02 16:53:02
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ymmiskobe

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
现在基本上就是两探针法,四探针法还有范德堡法啊~~
这三种方法都会因为通电流时产生Peltier effect而不准,不过这是没办法的了....
four-probe适用于形状规则的试样,大部分都用这个方法,很简单~不过您师兄说不好就只能用van der Pauw法了,这其实就是 resistivity and Hall measurement的一个结合,要是你实验室有这个仪器就测啊,要是测不了Hall那就用四针法啊~~
再说您做出的薄膜的好坏才能决定电导率的好坏~您师兄也是....唉~呵呵^^个人意见
4楼2009-09-02 22:14:31
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