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qnxk8882

新虫 (小有名气)

[交流] 离子注入、高精度晶圆减薄、化学机械抛光、超硬材料碳化硅刻蚀

离子注入
•        50-400kev注入能量
•        2,3,4,6,8 inch晶圆尺寸

高精度晶圆减薄
•        ttv<1 um
•        4,6,8 inch晶圆尺寸
•        材料包括不限于：硅，钽酸锂，铌酸锂

化学机械抛光
•        表面粗糙度<0.5nm
•        4,6,8 inch晶圆尺寸
•        材料包括不限于：硅，氧化硅，钽酸锂，铌酸锂

超硬材料刻蚀
材料包括但不限于：碳化硅，钽酸锂，铌酸锂

专业！专注！:hand
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1楼 2022-02-26 22:33:28
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wywe2558

新虫 (职业作家)
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306楼2026-08-16 04:21:29
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