| 查看: 1629 | 回复: 13 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
【求助】磁控溅射氟化镁薄膜镀不上去？
|
|||
| 请问高手，我用射频磁控溅射的方法在载玻片上镀氟化镁薄膜，溅射的压强为1.07pa或0.8pa,溅射的功率从70w、100w、120w、160w、200w，靶和基片的距离5cm、4cm、3.5cm,气体流量为13sccm、30sccm。溅射时间40分钟以上。分别做了近10次试验，每次都能正常起辉，可就是镀不上，载玻片上什么也看不出，用椭偏仪和台阶仪都没反应。请问高手有什么解决办法？如果有哪位高手镀过氟化镁薄膜，那镀好的膜用什么特征（颜色?)，各位有什么经验传授一下啊！万分感激! |
回复此楼» 猜你喜欢
29号明天会评吗
已经有4人回复
-
国社科又开始会评了，不知道这次命运如何
已经有10人回复
-
梦想
已经有4人回复
-
中青基了要发朋友圈吗？
已经有6人回复
-
基金不中，共勉
已经有12人回复
-
能否申诉？
已经有7人回复
-
有多少人是今天查系统知道结果的？
已经有19人回复
-
面上意见出来了
已经有19人回复
-
为什么到现在没收到通知？
已经有5人回复
-
有没有仍没收到信息的
已经有8人回复
physicshhl
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 659.1
- 散金: 20
- 帖子: 34
- 在线: 7.2小时
- 虫号: 387040
- 注册: 2007-05-30
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2009-08-31 16:53:43
jsszwutao
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 6364.6
- 散金: 87
- 帖子: 202
- 在线: 354.3小时
- 虫号: 787367
- 注册: 2009-06-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2009-08-31 17:05:28
physicshhl
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 659.1
- 散金: 20
- 帖子: 34
- 在线: 7.2小时
- 虫号: 387040
- 注册: 2007-05-30
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2009-08-31 17:09:14
木子小木虫
荣誉版主 (知名作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 3.279
- 金币: 13826.8
- 散金: 1463
- 红花: 17
- 沙发: 69
- 帖子: 7293
- 在线: 303小时
- 虫号: 801190
- 注册: 2009-06-30
- 专业: 应用有机化学
- 管辖: 论文投稿交流
5楼2009-08-31 17:12:23
6楼2009-08-31 17:12:51
7楼2009-08-31 17:15:23
8楼2009-08-31 17:17:07
wvsw
木虫 (小有名气)
老虎大王
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3447.6
- 散金: 309
- 红花: 3
- 帖子: 281
- 在线: 103.1小时
- 虫号: 456773
- 注册: 2007-11-12
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
9楼2009-09-01 09:49:24
whzg
木虫 (知名作家)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 5221.3
- 散金: 12010
- 红花: 4
- 帖子: 7265
- 在线: 338.6小时
- 虫号: 312576
- 注册: 2006-12-31
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
10楼2009-09-01 10:02:25
30