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【求助】磁控溅射氟化镁薄膜镀不上去？
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| 请问高手，我用射频磁控溅射的方法在载玻片上镀氟化镁薄膜，溅射的压强为1.07pa或0.8pa,溅射的功率从70w、100w、120w、160w、200w，靶和基片的距离5cm、4cm、3.5cm,气体流量为13sccm、30sccm。溅射时间40分钟以上。分别做了近10次试验，每次都能正常起辉，可就是镀不上，载玻片上什么也看不出，用椭偏仪和台阶仪都没反应。请问高手有什么解决办法？如果有哪位高手镀过氟化镁薄膜，那镀好的膜用什么特征（颜色?)，各位有什么经验传授一下啊！万分感激! |
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2楼2009-08-31 16:53:43
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