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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【求助】磁控溅射氟化镁薄膜镀不上去？
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316606212

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射氟化镁薄膜镀不上去？

请问高手，我用射频磁控溅射的方法在载玻片上镀氟化镁薄膜，溅射的压强为1.07pa或0.8pa,溅射的功率从70w、100w、120w、160w、200w，靶和基片的距离5cm、4cm、3.5cm,气体流量为13sccm、30sccm。溅射时间40分钟以上。分别做了近10次试验，每次都能正常起辉，可就是镀不上，载玻片上什么也看不出，用椭偏仪和台阶仪都没反应。请问高手有什么解决办法？如果有哪位高手镀过氟化镁薄膜，那镀好的膜用什么特征（颜色?)，各位有什么经验传授一下啊！万分感激!
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1楼 2009-08-31 16:51:04
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physicshhl

金虫 (初入文坛)
★ ★
316606212(金币+1):谢谢参与
316606212(金币+1,VIP+0):谢谢 8-31 18:11
时间加长点呢？
或者换一种衬底？
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2楼2009-08-31 16:53:43
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)
★
316606212(金币+1):谢谢参与
按道理起辉了，不管什么基体，都是能镀上去的。换一个非透明的基体做一个对照。另外可以看看靶材有没有什么变化。。。
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3楼2009-08-31 17:05:28
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physicshhl

金虫 (初入文坛)
是不是衬底不够洁净？
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4楼2009-08-31 17:09:14
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木子小木虫

荣誉版主 (知名作家)

优秀版主
★
316606212(金币+1):谢谢参与
改变一下气体流量和压强再试试呢！
基片对他也有影响
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论文投稿区欢迎您！
5楼2009-08-31 17:12:23
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316606212

新虫 (初入文坛)
我的衬底用的是普通载玻片，每次都经过15分钟的超声清洗啊。
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6楼2009-08-31 17:12:51
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316606212

新虫 (初入文坛)
氟化镁靶材在经过溅射后，周围一圈已经发黑了。
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7楼2009-08-31 17:15:23
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316606212

新虫 (初入文坛)
靶材和衬底的距离最小可以达到多少呢？如果靶材和衬底的距离达到3cm后会有什么危险吗？
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8楼2009-08-31 17:17:07
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wvsw

木虫 (小有名气)

老虎大王
★
316606212(金币+1):谢谢参与
可能是表面结合的问题，只能换衬底或表面改性一下。
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生于忧患，死于安乐
9楼2009-09-01 09:49:24
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whzg

木虫 (知名作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
估计你用的是MgF2化合物靶材，因为这样的离子化合物靶材原子溅射出来不容易，要射频溅射镀膜沉积速率肯定很慢的，40min时间估计短了，所以你可以加大功率（250W、300W）、增加镀膜时间（1h或1.5h），另外衬底也要清洗干净。最后一定要注意当RF功率加大后，要注意靶的冷却，否则会损害靶和靶材。
用玻璃衬底或载玻片可以沉积，换不换衬底影响不大（对膜厚度）。
压强1Pa左右，靶基距5cm左右都是可以的

[ Last edited by whzg on 2009-9-1 at 12:01 ]
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10楼2009-09-01 10:02:25
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