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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请问磁控溅射的时候真空度发生跳变是什么原因呢？
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晚秋秋秋

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请问磁控溅射的时候真空度发生跳变是什么原因呢？

用的是ULVAC的镀膜机，预备室的泵在抽到1pa以下时，示数就直接跳变回1✖10的五次方标准大气压了，但是抽真空还在继续，请问是真空规管坏了么
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1楼 2021-12-23 18:38:47
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晚秋秋秋

铁虫 (初入文坛)
今天检查发现一个锁扣坏了，不知道是否有影响
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2楼2021-12-24 16:32:53
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