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请问磁控溅射的时候真空度发生跳变是什么原因呢？
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| 用的是ULVAC的镀膜机，预备室的泵在抽到1pa以下时，示数就直接跳变回1✖10的五次方标准大气压了，但是抽真空还在继续，请问是真空规管坏了么 |
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2楼2021-12-24 16:32:53