sol-gel制备PZT薄膜，方形基片旋涂前驱不均匀的问题。 - 功能材料 - 压电铁电材料

冰山雪莲灯

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32楼2021-11-17 08:17:33

风间新之助

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9楼: Originally posted by msf2018 at 2021-11-16 22:54:21
楼主是做陶瓷薄膜能量转换器件吗？

我做压电器件，但是不是能量转换器

一杯清水

33楼2021-11-17 10:08:32

yellow鑫

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风间新之助

两肩如铁，胸襟似海。

34楼2021-11-18 08:16:10

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34楼: Originally posted by yellow鑫 at 2021-11-18 08:16:10
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感谢解答，我是10mmX10mm的基片，直接在4寸Si/SiO2/Ti/Pt衬底上制作太贵了（我第一次做o(╥﹏╥)o），也是看到其他论文有人也是在小方片上做才选择在这上面做。
请问您的意思是在这种小方片上做只能达到这种效果吗？

一杯清水

35楼2021-11-20 17:42:45

风间新之助

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我尝试提高了旋涂速度6000r/min，效果稍微好了一点，但是边缘还是有“一圈”…（如图，旋涂了一次，没有烧结）

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一杯清水

36楼2021-11-20 17:46:21

无丝竹乱耳

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你这是边缘位置偏厚吗，背面四周有没有胶。我玻璃方形基片BM胶涂出来的效果是表面平整但是四周偏厚，而且背面的四边也会涂上一圈胶。你先看看你的胶有没有涂到基片背面吧

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风间新之助

37楼2021-11-24 14:40:52

风间新之助

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37楼: Originally posted by 无丝竹乱耳 at 2021-11-24 14:40:52
你这是边缘位置偏厚吗，背面四周有没有胶。我玻璃方形基片BM胶涂出来的效果是表面平整但是四周偏厚，而且背面的四边也会涂上一圈胶。你先看看你的胶有没有涂到基片背面吧
...

感谢热心回复！我的基片背面有一点，但不是背面一圈诶。之前有过背面也有前驱液的情况，但是我减少了滴胶的量后明显改善了。旋涂出来的基本，有些背面沾有，有些没有比较干净。

一杯清水

38楼2021-11-24 23:09:45

风间新之助

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感觉人有点少，能热心回复的友友都送花花。
继续追加金币，有前辈能解决疑问的话双手奉上金币(金币少不要嫌弃哈)。感谢感谢！

一杯清水

39楼2021-11-24 23:14:43

zxf984

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您好！请问这种PZT薄膜能导电吗？电导率是多少？谢谢！

40楼2021-11-25 11:39:51