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风间新之助

金虫 (小有名气)

[交流] sol-gel制备PZT薄膜,方形基片旋涂前驱不均匀的问题。

请教各位虫友大大,最近在用sol-gel制备PZT薄膜,配置好前驱液后用匀胶机旋涂出来发现方形基片上始终效果不好,边上有一圈(如下图)。我配置的前驱液浓度是0.33mol/L,旋涂参数的低速800r/min,10s,高速3000r/min,30s,加速度5000。
我尝试改变滴胶的量,旋涂速度,时间,加速度均不能前辈,这种出现这种情况可能是什么原因,或者方形基片只能做到这种效果。

sol-gel制备PZT薄膜,方形基片旋涂前驱不均匀的问题。


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一杯清水
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无丝竹乱耳

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你这是边缘位置偏厚吗,背面四周有没有胶。我玻璃方形基片BM胶涂出来的效果是表面平整但是四周偏厚,而且背面的四边也会涂上一圈胶。你先看看你的胶有没有涂到基片背面吧

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37楼2021-11-24 14:40:52
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2楼2021-11-16 22:31:09
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3楼2021-11-16 22:32:32
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4楼2021-11-16 22:32:39
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