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风间新之助金虫 (小有名气)
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[交流]
sol-gel制备PZT薄膜，方形基片旋涂前驱不均匀的问题。
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请教各位虫友大大，最近在用sol-gel制备PZT薄膜，配置好前驱液后用匀胶机旋涂出来发现方形基片上始终效果不好，边上有一圈（如下图）。我配置的前驱液浓度是0.33mol/L，旋涂参数的低速800r/min,10s，高速3000r/min,30s，加速度5000。 我尝试改变滴胶的量，旋涂速度，时间，加速度均不能前辈，这种出现这种情况可能是什么原因，或者方形基片只能做到这种效果。  发自小木虫Android客户端 |
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zxf984
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