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zhangsir123

木虫 (初入文坛)

[求助] CVD生长单层MoS2 已有1人参与

求助各位老师,关于CVD生长单层MoS2的问题,第一次生长为星型;第二次生长为非常小的三角,后面通过增加硫粉的量,还是小三角(归因于硫粉200mg太少了)。生长出来的都是极小的三角形,后来即使增加了硫粉的量(300mg),仍然是小三角(5微米)。反应条件:常压,气体流量150SCCM(Ar 130/H2 20).因为管道比较大,防止回流,所以用的流量比文献中流量大。
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2楼2021-10-15 18:20:26
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zhangsir123

木虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 15751000449 at 2021-10-15 18:20:26
星型可能是H的刻蚀作用,小?生长温度多少呢?

生长温度750度,反应10分钟。H2一般不是可以有利于生成较大的三角形么,还会刻蚀么?
3楼2021-10-18 15:40:41
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952212076

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

想问楼主,你做的怎么样了,我最近也在做这个一直不太顺利
4楼2022-04-15 11:38:58
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