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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 关于磁控溅射制备TaN薄膜、Ti/Pt/Au等
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寄居灰

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于磁控溅射制备TaN薄膜、Ti/Pt/Au等

查阅资料关于TaN薄膜是采用高温反应溅射，而Ti/Pt/Au一般是常温溅射，共用一个腔体做对纯金属的溅射稳定性影响有多大？
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1楼 2021-09-02 19:49:58
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429493769

禁虫 (小有名气)
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2楼2021-09-02 20:33:40
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997174715

禁虫 (正式写手)
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3楼2021-09-02 22:12:09
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