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关于磁控溅射制备TaN薄膜、Ti/Pt/Au等
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| 查阅资料关于TaN薄膜是采用高温反应溅射，而Ti/Pt/Au一般是常温溅射，共用一个腔体做对纯金属的溅射稳定性影响有多大？ |
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