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SunKli

新虫 (小有名气)

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[求助] ICP工艺

请问大家ICP刻Ge用的什么配方，用什么做掩膜更好一点！

@yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端

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1楼 2021-08-30 11:06:16

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SunKli

新虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by 草也花开 at 2021-08-31 15:06:26
ICP IBE 均可以刻蚀Ge，你要刻蚀多少厚度的Ge金属？cl2刻蚀过AuGe合金，单独的Ge金属没刻蚀过，祝顺利

刻几百nm的Ge，用过铝做掩膜，选择比不是很大，想问问大家有刻Ge的用的什么气体配方

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3楼2021-09-01 00:26:07

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草也花开

金虫 (知名作家)

疏影@暗香

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专业: 半导体材料

ICP IBE 均可以刻蚀Ge，你要刻蚀多少厚度的Ge金属？cl2刻蚀过AuGe合金，单独的Ge金属没刻蚀过，祝顺利

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2楼2021-08-31 15:06:26

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