版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (3801)
>文献求助 (374)
>虫友互识 (310)
>导师招生 (251)
>招聘信息布告栏 (136)
>硕博家园 (134)
>考博 (126)
>休闲灌水 (90)
>论文道贺祈福 (87)
>博后之家 (81)
>论文投稿 (64)
>考研 (59)
>教师之家 (54)
>基金申请 (47)
>公派出国 (45)
>找工作 (41)

【悬赏金币】回答本帖问题，作者SunKli将赠送您 5 个金币

SunKli

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 375.6
散金: 22
帖子: 183
在线: 9.4小时
虫号: 27113763
注册: 2021-08-28
专业: 光学

[求助] ICP工艺

请问大家ICP刻Ge用的什么配方，用什么做掩膜更好一点！

@yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端

» 猜你喜欢

金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有83人回复

1楼2021-08-30 11:06:16

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

草也花开

金虫 (知名作家)

疏影@暗香

应助: 341 (大学生)
贵宾: 0.008
金币: 1597.5
散金: 1986
红花: 53
沙发: 99
帖子: 7100
在线: 570.5小时
虫号: 3723754
注册: 2015-03-10
专业: 半导体材料

ICP IBE 均可以刻蚀Ge，你要刻蚀多少厚度的Ge金属？cl2刻蚀过AuGe合金，单独的Ge金属没刻蚀过，祝顺利

2楼2021-08-31 15:06:26

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

SunKli

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 375.6
散金: 22
帖子: 183
在线: 9.4小时
虫号: 27113763
注册: 2021-08-28
专业: 光学

引用回帖:

2楼: Originally posted by 草也花开 at 2021-08-31 15:06:26
ICP IBE 均可以刻蚀Ge，你要刻蚀多少厚度的Ge金属？cl2刻蚀过AuGe合金，单独的Ge金属没刻蚀过，祝顺利

刻几百nm的Ge，用过铝做掩膜，选择比不是很大，想问问大家有刻Ge的用的什么气体配方

发自小木虫Android客户端

3楼2021-09-01 00:26:07

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 SunKli 的主题更新