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PECVD做的SiN不能沉积在Au和Cu上
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采用PECVD做的SiN可以沉积在Pt、NiCr上，能够起到绝缘的作用，用万用表的表笔测不出导通的电阻，但是用力往下按会有一些地方导通。 但是当基底是Au、Cu薄膜时候，SiN根本沉积不上去，做完之后颜色只有略微的变化，用万用表测还是导通的电阻，沉积时间过久会形成粉末状的薄膜，一刮就掉下来了，但基片还是导通的 请问是什么原因呢？功率的问题还是厚度的问题呢？ |
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