| 查看: 394 | 回复: 0 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者ws4231153将赠送您 5 个金币 | ||
ws4231153新虫 (小有名气)
|
[求助]
PECVD做的SiN不能沉积在Au和Cu上
|
|
|
采用PECVD做的SiN可以沉积在Pt、NiCr上，能够起到绝缘的作用，用万用表的表笔测不出导通的电阻，但是用力往下按会有一些地方导通。 但是当基底是Au、Cu薄膜时候，SiN根本沉积不上去，做完之后颜色只有略微的变化，用万用表测还是导通的电阻，沉积时间过久会形成粉末状的薄膜，一刮就掉下来了，但基片还是导通的 请问是什么原因呢？功率的问题还是厚度的问题呢？ |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有233人回复
