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mse507

木虫 (正式写手)

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[交流] 【讨论】铁电薄膜配套电极的选择

铁电薄膜的电学性能除了与取向和晶化程度相关外，还很强地依赖底电极材料的质量以及二者之间发生互扩散（与退火温度密切相关）的程度。因此，选择合适的底电极材料是开展铁电薄膜研究工作必须面对的一个关键问题。欢迎对铁电薄膜感兴趣的虫子们就此问题从基础研究和器件应用两个方面来展开讨论。

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1楼 2009-08-17 20:51:02

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solgeltech

银虫 (小有名气)

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注册: 2009-06-08
性别: GG
专业: 溶胶凝胶铁电薄膜铁酸铋

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mse507(金币+3,VIP+0): 8-22 11:59
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 8-23 12:34

引用回帖:

Originally posted by diwunju at 2009-8-19 01:04:
大多数多晶薄膜长在Pt上，也有用Ir的，比较好控制界面反应。国内有一些人喜欢用Au，但是美日欧洲人很少用Au，因为Au是半导体工业的禁忌，用Au电极没有任何实用意义。目前的器件应该都是基于贵金属电极的。

氧化 ...

由于在氧化物电极上制备的铁电薄膜多为外延取向膜，而取向薄膜的漏电流通常比多晶膜的漏电流要大。本人认为在氧化物电极上的铁电薄膜漏电大应该是自身的缺陷造成的，而与底电极无关。在氧化物电极获得铁电性能优异的铁电薄膜的关键还是要尽量提高薄膜的晶化质量，也就是说降低铁电薄膜中的缺陷。美国Ramesh教授小组做的工作都是在氧化物电极上的，我想他们的工作是最有说服力的。