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mse507木虫 (正式写手)
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[交流]
【讨论】铁电薄膜配套电极的选择
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| 铁电薄膜的电学性能除了与取向和晶化程度相关外，还很强地依赖底电极材料的质量以及二者之间发生互扩散（与退火温度密切相关）的程度。因此，选择合适的底电极材料是开展铁电薄膜研究工作必须面对的一个关键问题。欢迎对铁电薄膜感兴趣的虫子们就此问题从基础研究和器件应用两个方面来展开讨论。 |
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solgeltech
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3楼2009-08-18 09:43:44
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clearsky7228
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diwunju
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大多数多晶薄膜长在Pt上，也有用Ir的，比较好控制界面反应。国内有一些人喜欢用Au，但是美日欧洲人很少用Au，因为Au是半导体工业的禁忌，用Au电极没有任何实用意义。目前的器件应该都是基于贵金属电极的。 氧化物电极用得最多的是SrRuO3，一般做外延薄膜的衬底，或者做改善疲劳的buffer。其它LaNiO3、LaSrMnO3甚至RuO2、ITO薄膜都有人用。一般来说，氧化物电极对疲劳有改善，但是仍然有争议，因为氧化物电极最直接导致的是漏电流增大。Scott讲过，漏电的薄膜是不会疲劳的。氧化物电极、漏电和疲劳之间的关系现在也没说清楚，但是随着铁电薄膜话题的冷却也鲜有人问津了。 |
5楼2009-08-19 01:04:05
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